5세대급 대면적 AMOLED 증착장비 첫 개발
반도체 웨이퍼 회로 패턴 검사 장비도 국산화

에스엔유프리시젼(대표 박희재)은 1998년 서울대 신기술 창업네트워크에서 시작해 12여년간 LCD, 유기발광다이오드(OLED), 반도체, 태양전지 제조장비를 전문적으로 연구하고 개발, 생산해온 장비 전문기업이다.

에스엔유프리시젼이 장비 전문기업으로 주목받기 시작한 것은 2002년 세계 최초로 LCD 유리기판 간극(포토스페이서)을 나노미터 단위로 측정해 정확한 액정 주입량을 계산할 수 있도록 해주는 정밀계측기(PSIS;Photo Scanning Inspection System)를 개발해 국내 LCD 제조사에 납품하면서부터다. 이 계측장비를 사용한 LCD 제조사들의 생산수율이 크게 개선되면서 국내는 물론 대만, 중국 등지 LCD제조사들을 비롯해 까다롭기로 유명한 일본 LCD 제조사에까지 독점 공급하게 됐고, 관련 장비 기업으로는 세계적 수준에 오르게 된다. 매출 실적도 급상승, 2006년 본지와 딜로이트 등이 선정한 `한국고속성장기업 50에서 대상을 수상하기도 했다. 최근엔 LCD TFT(박막트랜지스터) 패턴을 정밀 측정하는 장비(하트톤CD측정기)도 개발해 국내외 공급하고 있다.

회사는 LCD 장비사업 성공에 안주하지 않고, 2006년 향후 10년 이상을 이끌 성장동력으로 OLED 장비 사업을 선정해 투자에 들어간다. OLED 증착장비와 태양전지 제조장비 개발회사인 에이엔에스에 전략 투자해 계열사로 편입, 세계 최초로 5세대급 대면적 능동형 유기발광다이오드(AMOLED) 증착장비 개발에 성공했다. 이어 지난해 1월에는 에이엔에스를 전격 흡수합병하고 본격적인 OLED와 태양전지 장비 사업에 진출했다. 작년 하반기 회사는 60억원을 투자해 충남 아산시에 1만㎡ 규모의 OLED와 태양전지 제조장비 전용 생산공장을 완공, 올해 관련 사업을 대폭 강화할 계획이다.

회사가 독자 개발한 AMOLED용 5세대급 대면적 증착장비는 현재 대부분 OLED 상용 증착장비가 1∼3.5세대급의 작은 기판을 사용하는 장비라는 점과 비교하면 훨씬 앞선 기술 장비다. AMOLED TV 등 큰 사이즈의 패널을 만들기 위해선 대면적 증착장비 개발이 선결과제인데, 회사가 이 분야에선 손가락에 꼽히는 기술력을 갖추고 있다. 이같은 기술력을 인정받아 회사는 AMOLED 패널 제조사인 삼성모바일디스플레이 등과 5.5세대급 수직형 AMOLED 증착장비개발을 위한 국책과제를 수행하고 있고, 오는 6월까지 1차 상용화 개발을 완료할 예정이다. 회사는 또 AMOLED 유리기판 두 장을 합착해주는 기존 봉지(Encapsulation) 장비와 달리 한 장의 유리기판 위에 박막으로 코팅해 합착하는 생산비 절감형 AMOLED 봉지장비를 개발, 국내외 공급하고 있다.

태양전지 제조장비 사업 분야에서 회사는 태양전지의 광전 변환효율을 개선시키는 레이저 패터닝 장비를 영국 옵텍과 미국 A 태양전지 제조사 등에 공급한 경험을 가지고 있다. 또 지난해 6월엔 지식경제부의 `신재생에너지 기술개발사업 가운데 구리ㆍ인듐ㆍ갈륨ㆍ셀레늄 화합물(CIGS) 박막 태양전지 증착장비 개발사업자로 선정돼 이 분야 사업육성에 집중하고 있다. 지난해 회사는 미국 CIGS 태양전지 제조사인 텔리오솔라와 장비 개발협력 양해각서를 체결했고, 현재 유럽 CIGS 태양전지 제조사들에도 장비 공급을 추진하고 있다.

회사는 또 2008년 반도체 웨이퍼의 회로패턴 형상을 검사해 실시간으로 결과를 알려주는 나노 검사장비(CD-SEM)를 국산화해 반도체 장비 사업에도 진출했으며, 현재 국내 모 반도체 제조사 양산라인에서 성능을 평가받고 있다. 회사는 지난해 지경부의 `반도체장비 상용화 기술개발 사업 가운데 1.8나노급 회로 패턴 검사장비 개발 사업자로도 선정되기도 했다.

회사는 이 회로 패턴 검사장비가 그동안 일본 등지에서 100% 수입됐지만, 자사 장비 개발이 끝난만큼 앞으로 상당한 수입장비 대체효과를 가져올 것으로 예상했다.

회사는 2008년 매출 718억원에 영업이익 92억원의 호실적을 기록했으나, 작년 경기침체로 실적이 다소 악화할 것으로 예상했다. 그러나 올해 반도체ㆍ디스플레이ㆍOLEDㆍ태양광 등 4개 장비사업 부문에서 탄탄한 기반을 갖춘만큼 창사 이래 최대 실적을 올릴 수 있을 것으로 기대했다.

김승룡기자 srkim@dt.co.kr