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엑시트론의 4인치 LED 에피웨이퍼 생산 확대
관리자 2010.01.07 743

Close Coupled Showerhead(CCH) CRIUS MOCVD툴 이용

 

▲ 6인치 사파이어 기판 개발에 이미 성공한 일본 업체 전시물 사진(자료사진)     © 한국조명산업신문


 
엑시트론(지사장 : 최은숙) 이 2009년 3사분기에 대만의 세미레드 (SemiLED)로부터 주문 받은 7 x 4인치용 CCS(Close Coupled Showerhead) 유기금속화학증착 시스템을 올해 말 안으로 선적한다고 발표했다. 이 장비는 세미레드의 최신식 LED 제조 설비 중 4인치용 LED 칩 생산라인에 사용될 예정이다.

세미레드의 사장 겸 COO 인 청 트란(Chuong Tran)은 “우리는 리액터 간극조절(Dynamic Reactor Height Adjustment) 기능이 장착된 AIXTRON CRIUS 시스템을 설치하여 당사의 독점적인 MVP 웨이퍼 기술의 장점을 충분히 활용, 생산성을 높일 것이다” 라며 “특히 우리의 생산 계획에 바로 대응하는 백업 서비스를 제공해준 것에 감사한다.”고 전했다.
 
한편 엑시트론의 중화권 담당 부사장 크리스탄 정(Christian Geng)은 “이 시스템은 세미레드가 보유한 Planetary Reactor 시스템 라인을 보완하는 최초의 Close Coupled Showerhead Reactor이기 때문에 향후의 4인치 웨이퍼 프로젝트를 고대하고 있다.”고 덧붙였다.

엑시트론은 독일의 반도체 제조용 증착 시스템 장비회사로서 화합물, 실리콘, 유기 반도체, 탄소 나노 기반의 전자 및 광전자용 부품 생산에 필요한 기술 솔루션을 제공한다. 이러한 기술로 만들어진 웨이퍼 및 부품들은 디스플레이, 신호, 조명, 광통신, 무선, 광저장장치, 컴퓨터를 비롯해 다양한 첨단 기기에 적용된다. 이 회사의 CCS 개념은 다중 웨이퍼용 유기화학증착시스템의 반응기에 장착되는 기술이다.

/김유성 기자 news@lednews.net

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