| 디스플레이용 초박막 식각기술 세계 첫 개발
박막 식각장비 전문업체인 이노루트(대표 이기정)는 최근 2세대 LCD 패널공정에 적용될 수 있는 0.015㎜(15㎛) 초막박 유리기판 가공기술을 세계 처음 선보였다고 21일 밝혔다. 0.015㎜는 신문용지 두께의 5분의 1에 해당하는 것으로, 기존 2세대 유리기판 두께인 0.5㎜에 비해서도 100분의 3 수준이다. 이에 앞서 이노루트는 올초 5세대 유리기판도 현재 1.4㎜의 두께를 0.17㎜까지 줄일 수 있는 공정기술을 선보였다.
특히 이노루트가 개발한 박막 가공기술은 통상 식각액으로 쓰이는 맹독성 불산을 사용하지 않고 독자 개발한 친환경 정밀화학 약품을 적용, 갈수록 거세지는 환경 규제에도 적극 대응할 수 있다. 일반적으로 박막 제조기술은 유리기판이 대형화할수록 구현하기 어려우며, LCD 패널에 공기중 수분 등 이물질이 유입되는 것을 막기 위해 유리기판의 덮개용 유리로도 활용될 수 있다.
이노루트는 이번 초막박 유리기판 가공기술을 최근 열린 ‘2008 도쿄 평판디스플레이 박람회’에 출품, 일본 LCD 업계로부터 이목을 집중시키기도 햇다. 이 회사는 최근 삼성코닝정밀유리에 박막 유리기판 시제품을 공급한데 이어, 이번 전시회를 통해 일본 아사히글라스측으로부터 샘플 제품을 주문받았다. 이노루트는 세계적인 LCD 유리기판 장비업체인 일본 ‘나칸’과 제휴를 맺고 올해부터 본격적인 해외 진출을 추진중이다.
[출처:전자신문]
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