미래로시스템, 반도체 전공정 결함측정장비 개발

[머니투데이 이승호 기자]미래로시스템(대표 김중근)은 국내 최초로 반도체 전공정 결함 측정 장비 WaBIS(Wafer Backside Inspection System)를 자체 기술로 개발에 성공했다고 3일 밝혔다.

WaBIS는 회로선폭 90나노미터 이하급 초미세 가공 공정에서 주요한 결함(Defect)으로 부각되고 있는 Defocus 불량을 예측하고, 이를 유발하는 웨이퍼 후면의 결함 을 검사하는 장비다. 또 이러한 결함을 유발한 공정 장비를 추적, 탐색해내는 기능을 갖고 있어 주요 반도체 업체의 생산 수율 향상과 원가 절감에 크게 기여할 수 있을 것으로 전망된다.

특히, 결함 유발 공정 장비 추적 기능은 외국 업체의 결함 측정 장비에 비해 월등한 기능으로, 반도체 업계 실무 기술진에게 좋은 평가를 받고 있어 수입 대체 효과 및 해외 시장 개척이 기대된다.

반도체 전공정 검사 측정 장비 분야는 광학 기술, 자동화 기술 등의 하드웨어 기술 뿐 아니라 고난도 결함 검출 알고리즘 기술 등 소프트웨어 기술 진입 장벽이 높아 전량 수입에 의존해 왔다.

특히 미국과 일본의 소수 업체가 시장을 독과점하고 있는 상황하고 있어 국내 업체의 개발 및 시장 진입이 전무한 분야로 남아 있었다.

회사 관계자는 "WaBIS의 경우 2006년 9월 첫 공급을 시작으로 국내 및 해외에 적극적인 마케팅 활동을 계획하고 있다"며 "고난도 소프트웨어 기술력과 반도체 산업 기술에 대한 이해를 바탕으로 하이브리드형 반도체 결함 측정 장비를 2007년, 2008년 차례로 출시할 것"이라고 말했다.

그는 또 "팹리스, 반도체, FPD, 휴대폰, 멀티미디어 단말기용 검사, 측정 장비 시장에도 준비 중인 제품을 출시할 계획"이라고 덧붙였다.

한편, 미래로시스템은 1994년 설립돼 국내 최초로 반도체, LCD, 웨이퍼 제조 공정의 영상처리 소프트웨어, 수율 및 품질 향상 소프트웨어 제품을 개발했다. 또 2004년에는 주사전자현미경(SEM)의 국내 최초 개발 등 영상 및 측정 소프트웨어, 하드웨어 기술력을 보유한 벤처기업이다.

이승호기자 simonlee72@

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