성균관대학교 서상준 교수가 개발한 신개념 박막증착 공정기술은 저온에서 비정질, 질화, 산화 실리콘 공정이 가능하여, TFT Backplane 뿐만 아니라, 플라스틱 기반의 차세대 Flexible AMOLED Display, OLED 조명용 봉지막이나, 배리어필름 등에도 적용될 전망이다. 특히, 비정질 실리콘 공정의 경우에는 실리콘 소스와 plasma공정을 분리 및 순차적 반응을 유도하여, 비정질 실리콘 막내 수소농도를 극도로 제어할 수 있는 박막공정이다.
기존 반응플라즈마에 소소를 분해하는 PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 공정에 비해 소스 및 반응 플라즈마를 분리하여 증착하는 Dual plasma방식은 낮은 온도에서도 저수소를 갖는 비정질 및 다결정 실리콘 제작이 가능하다. 향후 디스플레이의 공정 단순화 및 원가 절감에 도 큰 기여를 할 수 있는 획기적인 기술로 평가된다.
본 계약기술은 OLED 조명분야, Flexible 디스플레이 분야, 스마트폰117 디바이스 등에 다양하게 적용되는 고부가가치 제품으로 국내외의 시장이 지속적으로 확대 되고 있음 본 이전 기술의 주요내용은 탈수소반응* 없이 낮은 온도에서도 저수소를 갖는 비정질‧다결정 실리콘을 제작하여 기존 LTPS 공정대비 제조공정을 혁신적으로 단축하고 AMOLED 제조 원가를 크게 절감했다는 점이다.
서상준 교수는 국내 최대기업인 삼성SDC에서 2008년부터 관련 Flexible AMOLED 기술개발 및 양산화에 성공했을 뿐만 아니라, 국내외를 포함하여 OLED관련 60여건 이상의 특허 출원 및 등록을 한바 있다. 2012년 본교 이직 후에도 Flexible AMOLED Backplane, 박막봉지,배리어 필름 및 롤투롤 OLED 조명 분야에서 2개의 국내 기술이전을 성사시켰고, 국내 및 글로벌 기업과도 4개의 과제를 현재 수행하고 있다.
이번 기술이전은 일반연구자지원사업(리서치펠로우)를 통해 창출된 개별기술을 특정분야별로 패키징하여 공동 포트폴리오를 구축, 기업이 필요한 기술을 맞춤형으로 공급하는 공공기관보유기술 공동활용지원사업*의 일환으로 추진됐다.
AP시스템㈜으로 기술 이전하는 차세대 AMOLED 대량생산 기술(성균관대학교 서상준 교수)은 기업이 요구한 8세대 디스플레이 공정 양산화 관련 국내특허 4건, PCT 국제출원 1건으로 원천특허 포트폴리오를 구축했다. AP시스템㈜은 기존 주력장비인 레이저 열처리 장비를, 본 기술을 적용한 비정질 실리콘 막 증착 장비와 융합하여 단일 공정의 폴리실리콘 막 형성 장비를 개발할 계획이다. 내년 상반기까지 장비 개발 및 테스트를 마치고 이후 디스플레이 제조사와 협력을 통해 대형 기판용 양산장비를 개발하여 15년 말 또는 16년 초 시장 진입(’16년도 예상매출액 규모 : 1,000억원)을 목표로 하고 있다
미래부 관계자는“국가 미래성장동력 및 차세대 먹거리 분야를 선도하는 AMOLED 원천기술을 국내 중견기업이 확보하게 됨으로써 산업경쟁력을 확보하고, 고부가가치를 창출할 수 있을 것으로 기대한다”며 “사업화 가능한 유망성과에 대해 중소․중견기업에 기술이전이 활발히 될 수 있도록 지원하겠다”고 밝혔다.
한편, 미래부는 공공연구기관이 보유한 특허를 대상으로 특허 패키징을 지속적으로 지원하고 있다. 지난 6월에는 급격한 시장 확대가 예상되는 분야의 핵심특허 보유기관을 대상으로 컨소시엄을 공모하여 3차원(3D) 프린팅 등 5개 기술을 선정하고 지원에 착수했다.
