| 웨이퍼 상 물질 초박막 두께 측정 장비 주목
대덕특구 분석기기 전문기업인 케이맥(대표 이중환)은 분석장비 시장에서 쌓은 기술력을 바탕으로 반도체 검사장비 시장에 진출키로 했다고 27일 밝혔다.
국가 차원의 지원과 대기업-중소기업 동반성장으로 반도체 시장 진입이 용이해졌고, 스마트폰 시장의 확대로 반도체 활용분야가 다각화되고 있어 장기적으로 시장이 크게 성장할 것이라는 판단에 따라 반도체 시장 진출을 선언한 것이다.
물성분석 노하우로 평판 디스플레이(FPD) 시장에서 높은 점유율을 확보하고 있는 케이맥은 최근 바이오ㆍ의료진단기기 시장에 성공적 진입으로 검증된 기술력을 바탕으로 박막두께측정기, 3D 비전 장비 등의 검사장비를 개발해 왔다.
이를 토대로 반도체 웨이퍼 상에 도포되는 물질의 초박막 두께를 측정하는 `Spectral Ellipsometer(SE), `Nano-MEIS(Medium Energy Ion Scattering)를 포함한 10여종의 반도체용 검사장비를 선보여 지난 1월 개최된 국내 최대의 반도체산업 전시회인 `세미콘 코리아에서 업계로부터 높은 관심을 받았다. 또 250여건의 제품 상담과 100여건의 구매상담을 진행하기도 했다.
이중환 대표는 "우리가 선보인 제품은 검사장비의 성능뿐만 아니라 반도체 공정상에서 발생하는 각종 문제점들을 직접 조사해 개발된 것으로, 반도체 공정 및 OLED 공정개선에 큰 기여를 할 것"이라며 "FPD와 바이오ㆍ의료진단 시장과 함께 반도체 검사장비 시장을 주력사업으로 키워나갈 계획"이라고 말했다
이준기 기자 bongchu@dt.co.kr
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