[디지털타임스 박정일 기자] 한국디스플레이연구조합은 최경현 제주대학교 교수 연구팀이 산·학·연 공동 연구 결과로 '롤투롤 연속공정 기반 저온·상압 패턴 증착 장비(ALD)'를 개발했다고 28일 밝혔다.
ALD는 원자층 증착법을 이용한 증착공정 기술로, ALD 금속을 포함한 원료와 반응 가스를 교차 주입해 원자 단위로 박막을 성장시키는 방식이다. 균일도가 높은 치밀한 박막을 넓은 면적으로 성장시킬 수 있어, 기존의 CVD(화학증착) 방식보다 플렉서블 OLED(유기발광다이오드) 패널의 수명과 성능을 끌어올릴 수 있다.
조합 측은 기존 산업에서 활용하는 패턴 형성 기술뿐 아니라 스마트 센서, 유연소자, 웨어러블 소자 제작에 적용되는 유연성 필름에 나노급 고미세·정밀 박막 패턴을 구현할 수 있는 점에서 의의가 크다고 전했다.
최경현 교수는 "선택적 박막 패턴 증착 기술에 대한 원천기술을 확보해 스마트 디바이스 산업·시장에서 새로운 공정·장비 산업을 창출할 것"이라고 기대했다.
한편 이번 연구는 산업통상자원부의 산업원천기술개발사업 중 하나로 약 5년간 약 62억원을 지원받아 수행했다. 박정일기자 comja77@dt.co.kr
최경현(사진) 제주대 교수 연구팀이 개발한 롤투롤 연속공정 기반 저온상압 패턴 증착 장비. <한국디스플레이연구조합 제공>
