◈ 회사소개
㈜기가레인 장비사업부(구
맥시스)는 Plasma Ether를 전문 사업으로 하고 있습니다.
2000년 반도체용 Oxide Etcher를 개발, 반도체 시장에 진입한 이래 2006년 Deep Silicon Etcher를 개발하여 MEMS 시장에 진입하였고
최근에 DTI 및 TSV 공정으로 반도체 시장에 접목되고
있습니다.
또한 LED용 PSS Etcher장비는 세계 시장 점유율 1위로 그 기술을 인증
받아 왔습니다.
이와 더불어 고객향
Deep Silicon Etch와 LED Etch 공정 및 장비 DEMO를 위해서 양산 FAB 수준의 평가 Lab.과 엔지니어링을 보유하고 있습니다.
◈ 제품소개
MAXIS300L series는 LED 용 PSS 와 GaN Etch 에 사용되는 장비입니다.
반도체 공정 장비의 기술을 바탕으로 자사 개발 Plasma Source를 적용, LED 공정에 최적화된 Chamber design 및 특화된 Tray 기술을 채택하여 세계
최고 수준의 공정 능력을 확보, 지식경제부 “2012년 세계일류
상품”에 선정되었고, 2013년 경기도지사상 “신기술개발 우수업체 상장”을 수상하였습니다.
◈ 연락처
- 전화 : 031-205-5925
- 팩스 : 031-205-5926
- 홈페이지 : http://gigalane.com
